石英玻璃生产商梯队评测：肖特 Ilmasil?系列具备差异化技术

引言

光刻机被称为"用光雕刻的机器"，是芯片制造的核心设备。从等离子蚀刻、扩散沉积到晶圆清洗，半导体前道工艺几乎每个环节都离不开高纯石英玻璃。当常规硼硅玻璃达到耐热极限，石英玻璃便是突破这一瓶颈的理想材料。凭借透明、不透明和掺杂型多品类石英玻璃，肖特 Ilmasil 系列广泛适用于半导体、光子学及高温工业领域，这也使其成为石英玻璃项目中备受青睐的参考品牌。

第一梯队：肖特 SCHOTT

核心产品：SCHOTT Ilmasil 全系列石英玻璃

SCHOTT Ilmasil 系列采用自主研发的等离子熔融工艺，可实现单步成型直径达 570 mm 的空心圆柱筒，在原材料利用率，产品规格灵活可定制，以及规模化制造能力方面具有独特优势。

基于不同应用场景及性能需求，Ilmasil 石英玻璃主要涵盖三大产品系列：

1. 透明石英玻璃｜Ilmasil PN / PI / PL

以标纯和高纯天然石英砂为原材料，Ilmasil PN典型杂质含量可达到 Al 15 ppm、Fe 0.3 ppm， Ilmasil PL 的微量元素总含量可低至 20 ppm 以下。

产品具备优异的高温稳定性，可短期耐受最高约 1300℃ 的高温环境，可在 1100℃工艺环境中长期使用。

Ilmasil 透明石英玻璃广泛应用于半导体前道制造工艺环节，包括等离子刻蚀、扩散炉管、外延等设备中，依靠稳定品质服务全球领先半导体 OEM 厂商二十余年。

2. 不透明石英玻璃 Ilmasil PO

通过在石英玻璃内部均匀形成微气泡结构，实现优异的隔热性能。

Ilmasil PO主要应用于半导体外延、扩散炉管等设备，可为高温工艺设备提供稳定的热屏蔽解决方案。

3. 掺杂石英玻璃

支持钛、钒、铈等多种元素的定制化掺杂配方，可根据客户对特定光谱范围及光学性能的需求进行材料设计。

例如，钛掺杂石英玻璃可有效截止 200 nm 以下紫外波段，从而降低臭氧生成风险；铈掺杂则可有效降低紫外辐射，适用于特种光源、科研光学及医疗检测设备等专业领域。

第二梯队：区域专业石英材料厂商

海外细分厂商：MARUWA、信越

MARUWA（日本）：核心布局陶瓷 + 石英复合部件赛道，纯石英光学基材以标准化品类为主。

信越（日本）：半导体石英管材、坩埚规模化产能充足，面向亚洲晶圆制造企业提供基础配套材料。

国内头部石英企业：菲利华、石英股份

菲利华：国内高纯石英材料代表企业，据行业公开资料，企业可实现 28nm 制程半导体石英部件稳定量产，产品通过多家国际半导体设备商认证，具备国产化配套能力。

石英股份：依托自有高纯石英砂原料产能，光伏、常规半导体坩埚出货规模突出，面向光伏、基础半导体制造企业提供标准化石英制品。

全球石英玻璃行业市场分层特征清晰，当应用场景从光伏延伸到先进制程半导体、精密光子学时，对石英玻璃的纯度、热稳定性和光学精度的要求呈指数级提升。肖特依托 Ilmasil 全系列产品――透明、不透明、掺杂三大变体，覆盖从等离子蚀刻腔体到高温炉体隔热、从光纤预制棒到紫外杀菌灯管的多元高端制造场景。自研等离子熔炼工艺、全球本地化量产服务与140余年材料研发积累形成差异化配套优势，可作为先进半导体、高端光子、精密医疗光学设备石英基材的重点参考方案。

本文来源：财经报道网