界面

集成电路中常用的有源器件有 npn和pnp双极型晶体管、NMOS和 PMOS场效应晶体管、肖特基金属栅场效应晶体管、pn结二极管和金属半导体肖特基接触二极管等。虽然这些器件的具体结构、所用材料、制造工艺和电学特性十分不同，但在它们工作原理的深处有一个共同的基础物理效应，那就是界面效应。图3.1为各种半导体微电子器件中常用的3种基本结构金属半导体接触、pn结、金属/介质/半导体结构界面示意图。 所有电子器件的功能,都是由电子运动变化实现的。如同其他物质运动一样，可以想象，...