纳米材料

研究背景 随着“超越摩尔”范式的演进，微机电系统(MEMS)作为集成多种传感和执行功能的关键技术，已成为下一代智能传感应用的核心。然而，高性能MEMS生物/化学传感芯片的晶圆级制造一直面临一个“鱼和熊掌不可兼得”的难题：高性能纳米功能材料往往与硅基加工工艺(如强碱性腐蚀液TMAH)不兼容。传统“先制造结构，后转移材料”模式，极易导致纳米薄膜厚度不均匀或传感器件结构受损，严重制约了芯片的灵敏度和一致性。长期以来，如何将高性能纳米材料可靠地集成到三维悬浮MEMS架构中，实现...